石英晶体拥有优良的频率-温度不变性和光学透过率，，，，，利用于以SMD3225型、2520型为主流型号的晶振元件，，，，，以及高端光学元件，，，，，批量供给以晶振元件研发为主的学堂、院所和企业，，，，，年产量5-8吨，，，，，占国内晶振市场1%左右份额。。。。。。。。

       国内可用于新一代幼型高频晶振元件（2016型、1210型及以下型号）、温补晶振、车规晶振等的高品质石英晶体仍未工程化，，，，，现有效于主流晶振型号3225型的石英晶体也有一半从俄罗斯进口，，，，，石英晶体市场缺口较大，，，，，利用远景较好。。。。。。。。技术成就转化以来，，，，，预期年产能可达到800吨，，，，，占全球市场的30%，，，，，晶体年产品收入4亿元，，，，，利润1亿元，，，，，服务终端300亿晶振元件市场。。。。。。。。

       针对现有人造石英晶体难以满足下游市场对高品质、高不变、低成本资料的需要问题，，，，，提出了一种大口径水热法造备人造石英晶体技术规划，，，，，以及低侵蚀隧路密度籽晶造备、高纯度石英晶体水热工艺、熔岩储能保温装置等技术规划，，，，，造备高品质人造石英晶体，，，，，可满足幼型、高频、高精的晶振元件QMEMS工艺造作。。。。。。。。重要技术已实此刻Ф250mm高压釜上得到工程化验证，，，，，技术处于国内当先、国内先进水平。。。。。。。。

        （一）重要技术创新点

        1. 大口径高压釜水热工艺。。。。。。。。

        国内用于人造石英晶体成长的高压釜口径均在Ф380mm以内，，，，，单釜产量低、出产成本高，，，，，无法与占国内市场50%的俄产石英晶体形成竞争。。。。。。。。由于釜体口径幼，，，，，受电压、环境变动等成分的滋扰影响大，，，，，不适合低侵蚀隧路密度、高Q值人造石英晶体的成长，，，，，无法满足温补晶振、压控晶振以及幼微型QMEMS工艺晶片需要，，，，，该类产品由日本垄断，，，，，造成国内石英晶体产业链的技术短板。。。。。。。。

        大口径高压釜便于实现内部优良的对流环境和越发不变的温场，，，，，抗表部环境滋扰能力大大加强，，，，，单元能耗更低，，，，，出产效能更高，，，，，批量一致性更好，，，，，更有利于合用于QMEMS光刻工艺的大尺寸、低侵蚀隧路密度石英晶体产业化。。。。。。。。

已申报发现专利1项，，，，，授权实用新型专利1项。。。。。。。。

        2. 熔岩储能系统。。。。。。。。

        不变的温场和精准控温有利于高品质人造石英晶体的成长。。。。。。。。目前石英晶体的温场重要由电阻直接加热节造，，，，，在较长的石英晶体成长周期内，，，，，电压变动、加热件的败坏直接造成温度颠簸，，，，，影响晶体质量均匀性，，，，，导致下游元件造作调试成本高。。。。。。。。元件企业更热衷直接采购日产石英晶片，，，，，限度了国内晶体企业的技术进取。。。。。。。。

        熔岩储能装置代替电阻直接加热，，，，，可实现恒温控温精度高，，，，，温场更不变；；；；；实现结构性节能，，，，，降低碳排放；；；；；降低用电成本，，，，，增长物理空间可选择性；；；；；对电质量不敏感，，，，，有利于提高晶体品质。。。。。。。。

       （二）技术优势

        技术成就转化后，，，，，单釜产能可提高10倍以上（与国内主流Ф300mm口径高压釜对比）；；；；；单元成本降低24.02%；；；；；单元能耗降低44.75%；；；；；谷电代替尖、峰电，，，，，实现结构性节能。。。。。。。。

技术成就转化后，，，，，产品的一致性大幅提高，，，，，与俄产石英一致性吃旖；；；；；有利于低侵蚀隧路密度、高Q值石英晶体的成长，，，，，可靠近或达到日产石英品质（日产石英侵蚀遂路密度在3条/cm²以内。。。。。。。。